an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">我们接着前面介绍到的石英晶振片的由来以及工作原理,我们接着说石英晶振晶片的电极对膜厚监控、速率控制至关重要。目前an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">市场上提供三种标准电极材料an>an style="font-size:18px">:an>an style="font-size:18px">金、银和合金。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">金是最广泛使用的传统材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">它具有低接触电阻an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">高化学温定性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">易于沉积。金最适合于低应力材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如金an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">银an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产品an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">即使频率飘移an>an style="font-size:18px">IMHz,an>an style="font-size:18px">也没有负作用。然而an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">金电极不易弯曲an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">会将应力从膜层转移到石英基片上。转移的压力会使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">银是接近完美的电极材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">银容易硫化an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">硫化后的银接触电阻高an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">降低晶振片上膜层的牢固性。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">银铝合金晶振片最近推出一种新型电极材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">适合高应力膜料的镀膜监控an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如an>an style="font-size:18px">siOan>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">SiO2,MgF2,TiO2an>an style="font-size:18px">。这些高应力膜层an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">由于高张力或堆积的引an>an style="font-size:18px">]an>an style="font-size:18px">力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经常会使晶振片有不稳定an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">高应力会使基片变形而导致跳频。这些高应力膜层an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">由于高张力或堆积的引力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经常会使贴片晶振,石英晶振片有不稳定an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">高应力会使基片变形而导致跳频。银铝合金通过塑变或流变分散应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在张力或应力使基体变形前an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">银铝电极已经释放了这些应力。这使银铝合金晶振片具有更长时间an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">更稳定的振动。有实验表明镀an>an style="font-size:18px">Si02an>an style="font-size:18px">用银铝合金晶振片比镀金寿命长an>an style="font-size:18px">400%an>an style="font-size:18px">。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">镀膜科技日新月异an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">对于镀膜工程师来说an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">(an>an style="font-size:18px">1)an>an style="font-size:18px">镀低应力膜料时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">选择镀金晶振片an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">最常见的镀膜是镀an>an style="font-size:18px">Aan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Auan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Agan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Cu,an>an style="font-size:18px">这些膜层几乎没有应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在室温下镀膜即可膜层较软an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">易划伤an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经验证明an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可以在镀金晶振片镀an>an style="font-size:18px">60000an>an style="font-size:18px">埃金和an>an style="font-size:18px">50000an>an style="font-size:18px">埃银的厚度。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">(an>an style="font-size:18px">2)an>an style="font-size:18px">使用镀银或银铝合金镀高应力膜层an>an>
an style="font-size:18px;font-family:新宋体">NiCran>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Moan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Zran>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Ni-Cran>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Tian>an style="font-size:18px">、不锈钢这些材料容易产生高应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">膜层容易从晶体基片上剥落或裂开an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些情况可以容忍an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但在一些情况下an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">会对蒸发源的功率控制有不良作用。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">(an>an style="font-size:18px">3)an>an style="font-size:18px">使用银铝合金晶振片镀介质光学膜an>an>
an style="font-size:18px;font-family:新宋体">MgF2an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">SiO2an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">A2O3an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">TiO2an>an style="font-size:18px">膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">被广泛用于光学镀膜an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但这些膜料也是最难监控的an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">只有基底温度大于an>an style="font-size:18px">200an>an style="font-size:18px">度时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些膜层才会与基底有非常良好的结合力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在膜层凝结过程会产生巨大的应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">容易使晶振片在an>an style="font-size:18px">1000an>an style="font-size:18px">埃以内就回失效。an>an>