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an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">使用传统an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">ATan>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">切割晶体封装方法的音叉石英晶振亦能以an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">4.1an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米×an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">1.5an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米、an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">3.2an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米×an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">1.5an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米及an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">2an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米×an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">1.2an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米这样的小尺寸供货。目前主要的目标是将这类石英音叉的厚度推向an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">0.4an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米或更薄，以供轻薄型产品使用。预计在几年后，即会出现需要更小尺寸石英晶体an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">(1.6an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米×an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">1an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米及an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">1an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米×an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">0.8an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">毫米an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">)an>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">的应用，而石英晶体制造商正对此进行相应准备。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">对石英晶体振荡器的锁定技术国内外已经展开了相关的研究an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">并且也已经有了些相应的产品。在国外an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">瑞士的an>an style="font-size:18px"> Special Timean>an style="font-size:18px">等公司都实现了利用卫星信号来锁定级频标的技术an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">并且将晶振分频得到的秒信号和an>an style="font-size:18px">GPSan>an style="font-size:18px">输出的an>an style="font-size:18px">1PPSan>an style="font-size:18px">信号同步起来an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">同步精度达到了an>an style="font-size:18px">15nsan>an style="font-size:18px">。对于二级频标的驯服保持技术an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">虽然有单位曾经做过研究an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但是技术不成熟an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">因此没有推广。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">由于近年来二级频标的大范围使用an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">为了节省成本并达到高稳定度和准确度的要求an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">加拿大的北方电信就此技术已经初步进行了研究。国内对于卫星信号锁定二级频标的技术已经有相关单位从事这方面的开发工作an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但二级频标的精密驯服保持技术还处于起步阶段。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">曾祥君曾提出采用高精度石英晶振对an>an style="font-size:18px">GPSan>an style="font-size:18px">时钟进行实时监测an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">建立了an>an style="font-size:18px">GPSan>an style="font-size:18px">时钟误差的测量模型an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">给出了一种高精度时钟的产生方法an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">同时他还提出用晶振信号同步an>an style="font-size:18px">GPSan>an style="font-size:18px">信号产生高精度时钟的一元二次回归数学模型an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">有效消除了an>an style="font-size:18px">GPSan>an style="font-size:18px">时钟信号的随机误差和晶振的累计误差an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这对实际应用有很好的指导意义。国内外还利用相同的原理实现了基于an>an style="font-size:18px">GPSan>an style="font-size:18px">的铷钟的驯服。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">例如an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">北京跟踪与通信技术研究所就实现了铷钟的自适应驯服an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">并且驯服时间更短an>an style="font-size:18px">, an>an style="font-size:18px">精度更高an>an style="font-size:18px">;an>an style="font-size:18px">在国外an>an style="font-size:18px">, Juliano tibo narcisoan>an style="font-size:18px">等人对数字和模拟两种方法实现的驯服晶振的性能进行了比较an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">结果表明模拟方法有更好的电气特性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但是电路复杂an>an style="font-size:18px">, an>an style="font-size:18px">而数字化方法an>an style="font-size:18px">(PGA: Field Programmable Gate Array)an>an style="font-size:18px">实现简单an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">成本也比较低an>an style="font-size:18px">cha- Lung Chengan>an style="font-size:18px">等提出了使用实时动态神经网络小波预测滤波器来消除大气延时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">通过基于神经网络模型的预测控制器输出差值数字信号an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经an>an style="font-size:18px">D/Aan>an style="font-size:18px">转换来驯服石英晶振,贴片an>an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">晶振的方法an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">但是实现复杂度很高。an>

an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">英国的an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">PTSan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">公司生产出了基于an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">GPSan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">驯服铷钟的频率标准an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">结合an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">DDSan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">实现了输出频率在an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">1an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">μan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">Hzan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">到an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">80MHzan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">的范围内可调。另外an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">美国的一家公司也开发出了相应的产品an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">型号为an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">PRS10,an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">其基准可以在an>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">GPSan>an style="font-family:新宋体;text-indent:2em;font-size:18px">和其他高精度频率源之间进行切换。an>

an face="新宋体">an style="font-size:18px">CEOB2B晶振平台是目前全球首家专业性的电子商务平台,在这里你可以找到来自海内外上百种晶振品牌,为您提供免费产品推广,海内外石英晶振规格料号查询,下载服务等.CEOB2B晶振平台汇集了数千万中晶振产品,只要你需求的这里都给你准备好了,欢迎登入官网了解.an>an>

an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">当离子枪使用时间过长使离子枪内部积碳、操作员在清扫真空腔时有异物掉入离子枪内、或因为离子枪冷却不良都会造成离子枪出力不稳定an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">使不良品数量增加。例如an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt; ">如图an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt; ">4-1l1an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt; ">所示an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">当离子枪工作正常an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">出力稳定时an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">离子枪的实际刻蚀速度an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">(an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">设备根据设定的各参数计算出离子枪an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">beaman>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">电压、放电电流并供给离子枪。离子枪在获得这些电压、电流后实际输出的离于束an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">对an>石英晶振an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">晶片刻蚀的速度。an>

an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">当离子枪工作不正常时an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">实际工作电压、电流也会与计算值产生很大偏差an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">因此就不能获得相应电流密度的离子束an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">使得刻蚀速度发生变化an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">)an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">等于设定的速度时an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">设备根据加工前测定的频率和设定的刻蚀速度计算出的加工时间与实际需要加工的时间相等an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">经过该时间的加工后可以达到目标频率。当离子枪的实际刻蚀速度大于设定的速度时an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">则计算出的加工时间大于实际需要加工的时间an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">此时an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">经过该时间的加工后an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">频率必然大于目标频率an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">,an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">而产生an>an lang="EN-US" style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">F+an>an style="font-family: 新宋体; font-size: 14pt;">不良。an>

an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">an>an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">an>

an style="font-size: 16pt; font-family: 新宋体;">离子枪出力不稳定的处理方法an lang="EN-US">an>an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">在实际生产中an lang="EN-US">,an>离子枪的工作状态会逐渐变差。因此操作员遇到少量不良品的出现an lang="EN-US">,an>不会意识到离子枪已发生异常an lang="EN-US">,an>而是调整一些参数继续生产an lang="EN-US">,an>直到出现大量不良品an lang="EN-US">,an>通过调整参数也无法进行生产时才联系维修人员进行修理和保养。这样an lang="EN-US">,an>不但会使离子枪长期处于不安定的状态an lang="EN-US">,an>而且经常出现不良品。为此an lang="EN-US">,an>本文通过前面的理论知识an lang="EN-US">,an>利用公式an lang="EN-US">(4.2)an>和an lang="EN-US">(4.3)an>针对an lang="EN-US">Aan>品种的石英贴片晶振制作了一个简单的程序an lang="EN-US">,an>界面如图an lang="EN-US">4-12an>。an>

an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">an>an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">an>

an face="新宋体">an style="font-size: 18.6667px;">当操作元将制品放入设备中共，开始刻蚀加工时，只要输入设备仪表上的监控电压an>an>an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">和电流an lang="EN-US">,an>就可以知道现在的离子束刻蚀速度。只要与设定的刻蚀速度比较一下an lang="EN-US">,an>当两速度相差较大时an lang="EN-US">,an>便可知道离子枪已工作在不安定状态an lang="EN-US">,an>应及时联系维修人员进行维修或保养。这样可以避免大量不良品的发生。an>

an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">快时代的今天网络通信是不可缺少的，卫星网络的全面覆盖不仅使得信息更快速的传达交流，还诞生了各式各样的为人们提供生活方便快捷的网络平台，支付宝微信的盛行使得无现金快捷支付成为可能，淘宝美团滴滴打车更让大家衣食住行显得更加方便快捷提供方便。而在卫星网络通信中晶振又是不可缺少的重要功臣，在声表面谐振器与声表面滤波器等an>an style="font-size:12px;color:#7f7f7f">SAWan>an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">声表面波器件还未诞生前，陶瓷滤波器是主要的网络通信用晶振，但陶瓷滤波器存在着各种弊端，而这些弊端随着科学技术的发展显得更加突兀不足，因此科学家们往更高的晶振领域探索，声表面波器件也因此开始一步步进入科技领域。an>

an style="font-size:25px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">石英晶振离子刻蚀频率微调方法an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">图an>an style="font-size:16px">4-1an>an style="font-size:16px">是基于石英晶振离子刻蚀技术的频率微调示意图an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">离子刻蚀频率微调方法an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">当照射面积小于an>an style="font-size:16px">2~3mm2,an>an style="font-size:16px">在an>an style="font-size:16px">beaman>an style="font-size:16px">电压低于an>an style="font-size:16px">100Van>an style="font-size:16px">以下就可获得接近an>an style="font-size:16px">10mA/cm2an>an style="font-size:16px">的高电流密度的离子束an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">离子束的刻蚀速度在宽范围內可进行调节。图中采用的是小型热阴极an>an style="font-size:16px">PIGan>an style="font-size:16px">型离子枪an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">放电气体使用an>an style="font-size:16px">Ar,an>an style="font-size:16px">流量很小只需an>an style="font-size:16px">035cc/minan>an style="font-size:16px">。在an>an style="font-size:16px">:an>an style="font-size:16px">圆筒状的阳极周围安装永久磁石an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">使得在轴方向加上了磁场这样的磁控管就变成了离子透镜an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">可以对离子束进行聚焦。热阴极磁控管放电后得到的高密度等离子an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在遮蔽钼片和加速钼片之间加高达an>an style="font-size:16px">1200Van>an style="font-size:16px">高压后被引出。并且可以通过对热阴极的控制调整等离子的速度。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">用离子束照射石英晶振的电极膜an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">通过溅射刻蚀使得频率上升米进行频率微调。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">在调整时an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">通过an>an style="font-size:16px">πan>an style="font-size:16px">回路使用网络分析仪对石英晶振的频率进行监控an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">当达到目标频率后就停止刻蚀an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">调整结束。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">因为石英晶振与an>an style="font-size:16px">πan>an style="font-size:16px">回路之间用电容连接an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">离子束的正电荷无法流到an>an style="font-size:16px">GNDan>an style="font-size:16px">而积聚在石英晶片上an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">使石英晶振晶片带正电荷。其结果不仅会使频率微调速度降低an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">而且使石英晶片不发振an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">无法对石英晶振的频率进行监控和调整。为此an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">必须采用中和器对石英贴片晶振晶振片上的正电荷进行中和an>an style="font-size:16px">。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">在进行离子刻蚀频率调整时an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">离子束对一个制品进行刻蚀所需的时间为an>an style="font-size:16px">1~2an>an style="font-size:16px">秒an>an style="font-size:16px">, an>an style="font-size:16px">而等待的时间约an>an style="font-size:16px">2an>an style="font-size:16px">秒an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">等待时间包括对制品的搬送和频率的测量时间。在等待时间中an>an style="font-size:16px">, an>an style="font-size:16px">是将挡板关闭的。如果在这段时间内an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">离子枪继续有离子束引an>an style="font-size:16px">|an>an style="font-size:16px">出an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">则an>an style="font-size:16px">0.5mman>an style="font-size:16px">厚的不锈钢挡板将很快被穿孔而报废。为此an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在等待时间内an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">必须停止离子枪的离子束引出。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">可以用高压继电器切断离子枪的各电源an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">除保留离子枪的放电电源an>an style="font-size:16px">(an>an style="font-size:16px">可维持离子枪的放电稳定an>an style="font-size:16px">)an>an style="font-size:16px">。这样an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在等待时间没有离子束的刻蚀an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">使挡板的使用寿命大大增长。同是an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">出于高压继电器的动作速度很快an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">动作时间比机械式挡板的动作时间少很多an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">所以调整精度也可得到提高。an>an>

an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">石英晶振中有有源晶振和无源晶振之分，并且有源晶振不仅在外观尺寸上表现的多样化，在功能运用上也是复杂多样的。都知道有源晶体振荡器比无源石英晶体精准度高，温度稳定性强不易发生频飘等现象。且石英晶体振荡器大多是四个脚位以上采用金属外封装的，一般情况下在有源晶振表面都有一个小圆点，这个小圆点对应的脚位被称为脚一，而其他脚位命名则从an>1an>脚开始按顺时针方向命名区分。an>

an face="新宋体">an style="font-size:25px">an style="font-size:18px">在前面的文章中我们介绍了石英晶振的由来,工作原理,以及晶振频率的微调研究,离子束加工原理等技术资料,接下来CEOB2B晶振平台要给大家介绍的是晶振an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">离子束刻蚀设备.an>an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">离子束刻蚀需要使用适当的电压和电流将某种气体电离成离子an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">然后对其进行聚焦和加速an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使之形成高能的离子束对工件进行加工。这些过程在大气压状态是无法完成的an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">所以离子刻蚀加工必须在高真空环境中进行。为此石英晶振离子束刻蚀设备必须包括真空腔和排气系统。此外an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">为了产生高能离子束还必须有离子源以及控制离子源的电源系统。最后an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">根据加工的石英贴片晶振和目的不同an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">还需要配备不同的监测系统和控制系统。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">3.3.1an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">离子an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">离子源也称离子枪an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">是产生高能离子束的装置。因此an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">离子源是这个离子刻蚀设备的核心。离子源的工作状态决定着整个石英晶振晶体设备的工作效率和刻蚀精度。并且an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在不同的应用中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">离子源的种类也各不相同。为此an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在实际应用中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">一般用以下参数来衡量离子源的性能：an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">1.an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">束流强度和束流密度。离了束的离子流的大小称为束流强度an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">用an>an style="font-size:18px">Ⅰan>an style="font-size:18px">表示。离子束的单位面积上的离子流大小称为束流密度an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">用an>an style="font-size:18px">Jan>an style="font-size:18px">表示。当离子束的横截面是an>an style="font-size:18px">S,an>an style="font-size:18px">则an>an style="font-size:18px">: I=JSan>an style="font-size:18px">。当其他因素不变时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">束流强度或束流密度增大时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">离子刻蚀的能力就增大。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">2.an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">离子束的尺寸和张角。离了束的尺是指离子束直径的大小。离子束的张角则是指当使用的宽离子束是汇聚束或发散束时的收敛角或发散角。或者细直径离子束的束救角。an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">3.an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">气体利用率。也就是气体输入离子源后an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经过电离、聚焦和加速后能成为有效离子的百分比。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">4.an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">功率和效率。效率是指高子源输出的高能离子束的能量与输入离子源的能量的比。在石英晶振,石英晶体振荡器实际应用中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">为了提高能源的利用率an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">必须尽可能的提高离子源的效率。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">5.an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">离子源的运行特性。运行特性用于衡量离子源工作的稳定性和可靠性。保证设备能够安定的生产。an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">3.3.2an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">工作腔an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">真空腔的大小要适中或者将真空腔分为加工室和准备室an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">加工室一直保持高真空。这样可以减轻真空泵的负担减少抽真空所需的时间。另外an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在真空腔中需安装摆放石英晶体,贴片晶振等工件的工作台。工作台的移动可以通过马达或an>an style="font-size:18px">R0B0Tan>an style="font-size:18px">控制an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以便调整离子束与工件的位置。当马达在真空腔外时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">还必须保证转动轴的真空密封性。避免由于转动轴处发生空气泄露an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">破坏加工的真空环境an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">影响晶振加工的品质。同时空气泄露后会加重真空泵的负担an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如果是湿泵还容易加速真空油的劣化an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">缩短真空泵的使用寿命an>an style="font-size:18px">:an>an style="font-size:18px">工作台和离子源按不同应用可以分别配备水冷循环系统an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">对工件与离子源进行降温an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以保证石英晶振的品质与离子源的出力稳定。最后an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">真空腔还应有一个观察窗口an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以便观察加工的情况。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">3.3.3an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">排气系统an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">排气系统一般分两段对真空腔进行排气an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">先用油旋转泵等低真空泵排气an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使真空度达到an>an style="font-size:18px">0Paan>an style="font-size:18px">左右an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">然后用油扩散泵等高真空泵排气an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使得真空腔达到各种加工所要求的高真空度。一般情况下an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">真空腔的本底真空度应高于an>an style="font-size:18px">103Pa,an>an style="font-size:18px">这样可以避免真空腔内混入过多的其他气体分子和水蒸气an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些气体分子和水蒸气不仅对离子源出力的稳定产生影响an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">还会污染石英贴片晶振工件an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">降低产品品质。此外在使用油扩散泵时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">还必须在泵前加装冷凝阱防止油蒸汽付真空腔的污染。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">3.4an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">离子束刻蚀的应用an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">离子束蚀具有多项优点an>an style="font-size:18px">:an>an style="font-size:18px">入射离子的方向性很强an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">刻蚀分辨率高an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">能刻蚀任何材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">一次能刻蚀多层材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">刻蚀在高真空中进行an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">刻蚀过程不易受污染。因此被广泛应用于电子工业、生物医疔等行业中.an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">首先an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">出于离子束刻蚀具有上述优点an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在电子工业中特别适合于对半导体元件的引线制作和图形刻蚀an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以及石英晶振晶片的减薄加工。其次an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在生物医疗应用中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可以将人造器官的表面刻蚀成特定的结构an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使人体的组织在其表面容易生长。另外an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在电子显微镜和做表面分析用的试样制备中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">出于离子束刻蚀使用物理的撞击效应和溅射效应an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">并且分辨率高容易控制an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">因此可以制成无化学污染的高质量的试样。an>an>

an style="font-size:12px;font-family:宋体;color:#7f7f7f">要说现在科技社会最火热的还是电子科技产品，不仅热销更新换代的速度也是令人咂舌，这里面缺不了晶振这类电子元器件的助阵，但也正是这些火热的电子科技产品才使得目前全球整个的晶振市场沸腾翻涌。当然不要只以为独有进口晶振在那里一枝独秀，国产晶振近些年也是快马加鞭迎赶着科技高速发展的好时机，国内众多晶振厂家不断崛起，一些晶振厂家不仅自己生产石英晶振等，还得到了其他全球知名晶振品牌的青睐取得了相应的产品代理权限。an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">石英晶振频率微调国内外研究现状an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">石英晶体元器件的生产从晶片的切割到成品包装。在整个工艺流程中an lang="EN-US">,an>以下几个工序主要影响着产品的频率。an>

an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">1.晶振an>an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">晶片的制作an lang="EN-US">,an>根据目标频率制作出相应切割方位、尺寸的晶片。an>

an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">2.an>an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">在晶片表面镀敷导电电极层an lang="EN-US">(an>根据要求可以镀银或金an lang="EN-US">)an>。an>

an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">3.an>an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">通过微量增厚或减薄镀层的厚度an lang="EN-US">,an>进行频率的微调。an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">国内外在石英晶体元器件生产过程中使用的频率微调方法主要有蒸发频率微调技术an lang="EN-US">,an>喷射频率微调技术an lang="EN-US">,an>激光刻蚀频率微调技术an lang="EN-US">,an>离子刻蚀频率微调技术an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">如图an lang="EN-US">1-1an>所示an lang="EN-US">,an>蒸发频率微调技术是石英晶体元器件加工中出现最早的微调技术。是在真空状态下an lang="EN-US">,an>对装有蒸发材料an lang="EN-US">(an>银an lang="EN-US">)an>的钨制料舟进行加热an lang="EN-US">,an>使银气化沉积在石英晶体表面而达到频率微调的目的。因为此技术频率偏差大an lang="EN-US">,an>效率低an lang="EN-US">,an>原料消耗大an lang="EN-US">,an>国内外的使用在逐渐减少。an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">如图an lang="EN-US">1-2an>所示an lang="EN-US">,an>喷射频率微调技术是蒸发频率微调技术的改进型。是在真空状态下an lang="EN-US">,an>对装有蒸发材料an lang="EN-US">(an>银an lang="EN-US">)an>钼盒进行加热an lang="EN-US">,an>使银气化后从钼盒的孔中喷出an lang="EN-US">,an>沉积在石英晶振晶体表面而达到频率微调的目的。因为此技术易于实现an lang="EN-US">,an>相应的设备简单an lang="EN-US">,an>成本低an lang="EN-US">,an>频率偏移不是很大。因此目前国内外使用较多。an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">如图an lang="EN-US">1-3an>所示an lang="EN-US">,an>激光刻蚀频率微调技术是将激光发生器产生的激光照射石英贴片晶振晶体表面的电极层an lang="EN-US">,an>使其气化而达到减薄电极层的膜厚度an lang="EN-US">,an>从而达到调整频率的目的。因其精度高an lang="EN-US">,an>速度快而被广泛的应用于石英晶体元器件的生产中。an>

an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">虽然激光刻蚀频率微调技术精度高an lang="EN-US">,an>加工质量稳定an lang="EN-US">,an>生产效率高an lang="EN-US">,an>但是激光频率微调后石英晶振晶片表面并不是均匀一致的an lang="EN-US">,an>而是凸凹不平的。因此an lang="EN-US">,an>并不适用于所有的石英晶体的频率调整an lang="EN-US">,an>特别是an lang="EN-US">ATan>系列产品。为此an lang="EN-US">20an>世纪an lang="EN-US">80an>年代末期开始an lang="EN-US">,an>出现了关于离子東刻蚀频率微调技术的研究an lang="EN-US">,an>经过多年的发展an lang="EN-US">,an>国内外有些厂商已开始应用。如图an lang="EN-US">1-4an>所示an lang="EN-US">,an>离子束刻蚀频率微调技术是将离子发生器产生的离子加速后轰击晶片表面an lang="EN-US">,an>使晶片表面的电极层脱落an lang="EN-US">,an>减薄电极层膜厚an lang="EN-US">,an>从而达到调整频率的目的.an>

an style="font-size:19px;font-family:宋体">石英晶振是利用晶体的压电效应制成的一种石英晶体振荡器。因为它具有高稳定性、高精度和低功耗等特点,被广泛应用于各种电器产品中。近年来,各生产企业为了在激烈的市场竞争中取得胜利,不断进行改善,提高产品的性能,降低产品的成本。本论文通过对离子刻蚀技术的探讨,对石英晶振的离子刻蚀频率微调进行研究。最后通过实验,明确了离子刻蚀频率加工时,刻蚀速度的设定,从而改善了离子刻蚀频率微调的加工工艺。使得加工效率和制品的良品率得到了很大的提高。an>

an style="font-size:19px;font-family:宋体">an>

an style="font-size:19px;font-family:宋体">石英晶振作为一种震荡器经过了几十年的发展。由于它具有成本低、高Q值、高精度和高稳定度的特点,因此在电子领域中的作用一直不能被其它振荡器所替代。an>

an style="font-size:19px;font-family:宋体">并且随着电子信息产业为代表的应用领域不断发展和扩大,其自身也不断发展和变化。品种不断增多,有温度补偿式（TCXO晶振）、压控式（VCXO晶振）和恒温补偿式（OCXO晶振）等。尺寸也不断出大变小,现在最小贴片石英晶振的尺寸已达到22×14×1.0(m)。目前,各生产厂家为了不断提高竞争力,正在努力开发精度更高、成本更低、尺寸更小的石英晶振。an>

an style="font-size:19px;font-family:宋体">近几年来,对石英晶体元件的需求量逐年上升,每年约增长10%。到2010年, 约为105.04亿只。随着产品不断向小型化和片式化发展,石英晶振晶体元件也不断向这个方向发展。我国晶体行业近年来不断引进先进技术,促使该行业不断发展。生产设备及生产工艺不断提高,使中国成为晶体行业的主要生产基地。an>

an style="font-size:19px;font-family:宋体">2010年压电晶体出口值达到10.25亿美元。但由于市场竞争的激烈,产品价格不断下降,同时各种生产成本(包括产品的原材料、水、电和劳动力价格等)不断上升,使得该行业利润空间不断被压缩,造成了该行业的竞争异常激烈。为此,各生产企业都不断的追求生产效率的提高、成本的降低以及制品精度的提高。an>an style="text-indent:2em">在贴片晶振，石英晶振生产过程中an>an style="text-indent:2em">,an>an style="text-indent:2em">离子刻蚀频率微调较大程度的影响着石英晶振的生产效率和制品的精度。an>