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an style=";font-family:宋体;color:#7f7f7f;font-size:12px">an face="宋体">陷波滤波器模型an>,an face="宋体">通过传输频率和其他波段的接收频率信号的衰减an>an face="Calibri">,an>an face="宋体">位于功率放大器之后an>an face="Calibri">.an>an face="宋体">村田已批量生产大约an>an face="Calibri">800MHzan>an face="宋体">频率陷波滤波器an>an face="Calibri">,an>an face="宋体">但这次是必要的商业化的新的陷波滤波器的an>an face="Calibri">1.8an>an face="宋体">或an>an face="Calibri">1.9GHzan>an face="宋体">高频率an>an face="Calibri">.an>an face="宋体">一般来说an>an face="Calibri">,an>an face="宋体">更高的频率an>an face="Calibri">,an>an face="宋体">更困难的是设计的陷波滤波器an>an face="Calibri">;an>an face="宋体">然而an>an face="Calibri">,an>an face="宋体">产品已经通过村田的独特的电路设计技术an>an face="Calibri">,an>an face="宋体">充分利用和电磁场仿真软件an>an face="Calibri">.an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">假设在石英晶振中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">对应于能态an>an style="font-size:18px">Ean>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">2an>an>an style="font-size:18px">的集居数为an>an style="font-size:18px">Nan>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">2an>an>an style="font-size:18px">对应于能态an>an style="font-size:18px">Ean>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">1an>an>an style="font-size:18px">的集居数为an>an style="font-size:18px">Nan>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">1an>an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">一个平面波对应的光子通量正沿着物质的轴向an>an style="font-size:18px">Zan>an style="font-size:18px">传播。an>an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">由于受激吸收和受an>an>an style="font-size:20px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激辐射而产生的光子通冕的改变为an>an style="font-size:18px">:an>an>an style="font-family:新宋体;text-indent:131px;font-size:18px">dF=oF(Nan>an style="vertical-align:baseline;font-family:新宋体;text-indent:131px">an style="font-size:18px">2an>an>an style="font-family:新宋体;text-indent:131px;font-size:18px">-Nan>an style="vertical-align:baseline;font-family:新宋体;text-indent:131px">an style="font-size:18px">1an>an>an style="font-family:新宋体;text-indent:131px;font-size:18px">)dZan>

an style="font-family:新宋体;font-size:18px">它表示an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">:an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">如果an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">N2>N1,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">则an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">dF/dZ>0an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">。石英晶振起放大作用。如果an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">N2<N1, an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">则an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">dF/dz<0,石英晶振an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">起衰减作用。在热平衡条件下an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">各能态的集居数是按玻尔兹曼分布an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,N2<N1an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">所以an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">晶振总是以吸收为主。如果在特定情况下an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">N2>N1an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">。该石头晶体的受激辐射作用大于受激吸收作用an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">该物质就可以产生更多的光子通量而作为光放大器。这种特殊状态称之集居数反转an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">指与通常状态的集居数分布不同。an>

按照业内的通用分类，压电晶体大致可分为：石英晶振，陶瓷晶振两种。其中石英晶振中又有许多的小分类，如：无源晶体，有源晶振，圆柱晶振，贴片晶振等等。

晶振制造行业的发展水平的因素不仅是自身的发展，同事与整个电子信息产业链中的地位与作用有着密切关系。就石英晶振制造业在整个电子信息产业链中所占据的地位和作用而言，在整个产业链中居于重要的地位，起到带动整个产业发展的作用

an style=";font-family:宋体;color:#7f7f7f;font-size:12px">an face="宋体">电子科技发展快速的今天，不仅国产晶振厂家品牌如雨后春笋不断涌出，在我国晶振市场活跃的进口晶振厂家品牌也数不胜数，就那些叫得上号的晶振品牌就有：日本的an>KDSan face="宋体">晶振、爱普生晶振、精工晶振、西铁城晶振、京瓷晶振、an>an face="Calibri">NDKan>an face="宋体">晶振、村田晶振，美国的西迪斯an>an face="Calibri">CTSan>an face="宋体">晶振、宝岛台产晶振中的晶技an>an face="Calibri">TXCan>an face="宋体">晶振、鸿星晶振、泰艺晶振等，这些晶振品牌中没有谁家不生产温补晶振的，并且一些进口晶振生产厂家还是主要以事业晶体振荡器出名的。an>an>

an style="font-size:18px"> 在前面的文章中我们有提到关于石英晶振磁控溅射技术原理an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">磁控溅射是在真空条件下导入一定压力的惰性气体an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">(Ar),an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">阴阳极间形成一定强度的电场an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">并引an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">入强磁场施加影响an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:21px">an style="font-size:18px">使被阳离子轰击而溅射出的靶材金属粒子加速射向欲镀覆基片表面。那么接下来CEOB2B晶振平台将要说的是an>an style="font-size:18px">石英晶振磁控溅射频率微调技术应用及优缺点分析。an>an>

an style="font-size:18px">在真空等离子体气氛中an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">氩离子轰击银靶an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">溅射出高能银粒子射向晶振晶片表面an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">从而增加表面银电极的厚度an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">进而改变石英晶体谐振器的谐振频率。其装置示意图如图an>an style="font-size:18px">1.3an>an style="font-size:18px">所示。an>an style="font-size:18px">与蒸发频率微调法类似an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">磁控溅射频率微调在对石英晶体谐振器进行频率微调时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">也分为粗调和细调两步进行。an>

an style="font-size:18px">an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">石英晶振磁控溅射频率微调的优、缺点an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">优点an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">(1)an>an style="font-size:18px">与蒸发频率微调法相比an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">溅射离子比蒸发原子或分子的平均能量大数十倍an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">提高了表面原子迁移率及体扩散an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使膜层性能及附着力增强an>an style="font-size:18px">。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">缺点an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">(1)晶振an>an style="font-size:18px">磁控溅射镀覆设备价格昂贵an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">设备操作、维护复杂。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(2)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">对于靶材an>an style="font-size:18px">——an>an style="font-size:18px">银的利用率低an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">最高只能达到an>an style="font-size:18px">50%。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(3)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">与石英贴片晶振蒸发频率微调法类似an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">粗调后的膜面已暴露过大气an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">易被氧化an>an style="font-size:18px">,an>an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">并且使得表面落上灰尘、杂质颗粒an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">而细调新镀膜层又较薄an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">导致膜层结合力差an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">, an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">易产生脱焊、固熔断线问题。这同样也是磁控溅射频率微调技术的致命缺点。an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(4)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">由于离子对阴极靶材的轰击an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使靶材表面溅射出二次电子an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些an>an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">电子经等离子体后an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">易堆积在阳极表面an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">使表面形成电荷积累an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">无法再继续沉积。an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">可见an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以上两种方法都无法满足大规模工业生产和激烈的市场竞争的需要更能适应生产需求的新型工艺呼之欲出。an>an>

an style="font-size:18px">在国内外针对石英晶振an>an style="font-size:18px">生产工艺和理论研究做出了很多验证,主要有三种技术,最早出现的是蒸发沉积和磁控溅射沉积表面电极以增加晶振质量,进而微调晶振的谐振频率。随着研究的不断进展,自20世纪80年代中期开始出现关于离子束刻蚀石英晶振频率微调技术的研究an>an style="font-size:18px">.下面CEOB2B晶振平台所要讲的是有关an>an style="font-size:18px">石英晶振蒸发频率微调技术的优缺点对比an>an style="font-size:18px">.an>

an style="font-size:18px">优点:an>

an style="font-size:18px">(1)设备简单,操作容易;an>an style="font-size:18px;text-indent:2em">(2)不会造成频率漂移,对实时测量影响较小。an>

an style="font-size:18px">缺点:an>

an style="font-size:18px">(1)镀层与基片的结合力差an>an style="font-size:18px;text-indent:2em">(2)坩埚容积小,不可能长时间、连续工作;an>an style="font-size:18px;text-indent:2em">(3)材料浪费,由于银的价格昂贵,而每次蒸发到基片表面上的材料不足30%,因而造成很大的浪费.an>

an style="font-size:18px">(4)初次镀银电极后的石英贴片晶振膜面已暴露过大气,使得表面落上灰尘、杂质颗粒,再加上银在高温时易被氧化,而微调新镀膜层又较溥,导致膜层结合力差, 易产生脱焊、固熔断线问题。这是蒸发沉积法进行频率微调的致命缺点,也是在实际生产中生产率低下的主要因素。膜层示意图如图1.2所示。an>an style="font-size:18px">
an>

an style="text-indent:2em">磁控溅射频率微调技术:an>an style="text-indent:2em">溅射技术包括磁控溅射、直流溅射、射频溅射等多种,目前广泛应用于石英晶振频率微调的溅射技术是磁控溅射技术。an>

an style="font-size:18px">磁控溅射技术原理:an>an style="font-size:18px">磁控溅射是在真空条件下导入一定压力的惰性气体(Ar),阴阳极间形成一定强度的电场,并引入强磁场施加影响,使被阳离子轰击而溅射出的靶材金属粒子加速射向欲镀覆基片表面。an>

an style="font-size:18px">在前面的文章中我们知道an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光具有高亮度、高单色性、高相干性、高方向性等四大优点an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">尤其是它具有极高的功率密度an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可达an>an style="font-size:18px">10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">10-12an>an>an style="font-size:18px">w/CMan>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">2an>an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">因而是一种性能优异的加工光源。因此我们通过an>an style="font-size:18px">将激光微加工工艺应用于an>an style="font-size:18px">石英晶振an>an style="font-size:18px">频率微调an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">并通过理论与实验证明。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光微加工an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">和其它微加工方法相比具有明显的优越性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">表现为以下几方面an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(1)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">加工制作条件较易得到满足an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">尽管an>an style="font-size:18px">“an>an style="font-size:18px">电子束an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">“Xan>an style="font-size:18px">射线an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">“an>an style="font-size:18px">离子束an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">具有更短的波长an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在提高分辨率方面有更多的好处an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但它们在an>an style="font-size:18px">“an>an style="font-size:18px">曝光源an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">“an>an style="font-size:18px">掩膜an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">“an>an style="font-size:18px">抗蚀剂an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">“an>an style="font-size:18px">成像光学系统an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">等方面都存在极大的困难an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">与此相比an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">激光有着明显的经济性和现实性。随着新型激光器的发展an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">它可将加工波长扩展至an>an style="font-size:18px">DUVan>an style="font-size:18px">和an>an style="font-size:18px">VUV,an>an style="font-size:18px">分辨率达到亚微米an>an style="font-size:18px">。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(2)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">功率密度高an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光加工的功率密度可达an>an style="font-size:18px">10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">8an>an>an style="font-size:18px">~10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">9an>an>an style="font-size:18px">W/cman>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:18px">2an>an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">大大缩短了an>an style="font-size:18px">晶振an>an style="font-size:18px">产品加工时间。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(3)an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">加工对象广泛an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">“an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光微加工an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">可用于多种材料的精密加工an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如金属、有机物、无机物、陶瓷等an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在加工的过程中可控制激光的切削尝试an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这使得利用激光进行高精密切削成为可能。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">目前an>an style="font-size:18px">,“an>an style="font-size:18px">激光微加工an>an style="font-size:18px">”an>an style="font-size:18px">的应用领域比较广泛an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">主要包括以下几方面an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(1)an>an style="font-size:22px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">精密打孔an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光精密打孔可对各种材料进行打微孔的加工。目前an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">激光打孔已广泛应用于金刚石模具、钟表石英，an>an style="font-size:18px">贴片晶振an>an style="font-size:18px">，轴承小孔的加工an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">它也可用于对陶瓷、橡胶、塑料等非金属材料的精密打孔。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(2)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">精密切割an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光精密切割的切缝窄an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">切缝边缘质量高an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">切割速度快an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">几乎没有残渣。在切割金属时可采用吹氧工艺使金属表面氧化而增强对激光的吸收能力an>an style="font-size:18px">;an>an style="font-size:18px">在切割非金属时采用吹惰性气体的方法排除熔融物。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(3)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">电阻电容的微调an>an style="font-size:18px">:an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光微调就是用激光束按一定的轨迹在膜片上照射an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使膜层达到气化温度而迅速蒸发an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">减少了电阻膜的导电面积从而达到改变膜片电阻值的目的。电阻微调分薄膜电阻微调和厚膜电阻微调两种。薄膜电阻膜厚为几百埃至几微米an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">常用镍铬等合金材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">厚膜电阻膜厚为几微米至几十微米。它还可以用于电子线路或石英晶振等电子器件的功能微调an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如有源滤波器的中心频率、带宽和增益的微调an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">运算放大器失调电压的微调等。电阻电容的微调一般采用an>an style="font-size:18px">YAGan>an style="font-size:18px">固体激光器an>an style="font-size:18px">。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(4)an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">精密焊接an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">精密焊接加热速度快、焊点小、焊缝窄、热影响区小an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">因而焊接变形小、精度高且无需真空设备。它能对绝缘体直接焊接、能焊接有色金属及异种金属an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">它还可进行薄片间的焊接、丝与丝间的对焊及缝焊。激光精密焊接特別适用于微型、精密、排列紧密和热敏焊件。广泛应用于微电子元件如集成电路内外引线的焊接、电子器件管壳封焊、热电偶的焊接、仪表微丝焊接等领域an>an style="font-size:18px">.an>an>