an style="font-family:新宋体;font-size:18px">在前面的文章中有介绍过石英晶体谐振器的基本结构、原理、应用an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">以及与石英晶振相关的一些电性能参数.也有讲到过多种<a href="/Quartzcrystal.html" title="石英晶振" target="_blank">石英晶振a>频率微调技术.但是an>an style="font-size:18px;font-family:新宋体">现有的三种频率微调技术均有各自的缺陷,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">而采用激光频率微调技术就可以克服掉这些缺陷an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">.an>
an style="font-family:新宋体;font-size:18px">非直接接触式的激光频率an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">微调并不会造成晶片表面温升过高an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">因而不会产生蒸发频率微调技术和溅射频率微调技术中的膜层易被氧化的问题an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">.an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">同时an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">非接触式加工方法an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">克服了溅射频率微调技术法中存在的晶振晶片表面电荷积累问题an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">;an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">并且an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">由于激光具有高度的方向性其光斑只有几平方毫米an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">最小可达微米数量级an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">因而移动方便an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">定位准确an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">可以用于多片同时频率微调an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">这就克服了离子束刻蚀频率微调的生产率低的问题。an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">此外an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">激光频率微调技术还具有许多其他方案不可代替的优点an>an style="font-size:18px">:an>an style="font-size:18px">结合成熟的激光加工工艺和频率检测工艺的新技术an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">拥有较高的频率微调精确度an>an style="font-size:18px">;an>an style="font-size:18px">并且生产效率高an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经济效益好an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">有很大的实用价值.an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">激光加工的灵活性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">允许加工成任意的图形an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这就对其应用范围没有限制an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可以应用于各种形状的石英晶振,<a href="/SMDcrystal.html" title="贴片晶振" target="_blank">贴片晶振a>。并且an>an style="font-size:18px">, an>an style="font-size:18px">激光频率微调与计算机技术相结合an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可实现自动控制an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">是现代化大生产的发展趋势。综合以上an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">本课题选用了代表未来发展趋势的激光频率微调技术来对石英晶振进行频率微调。an>an>
an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">因而an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">论文的主要研究任务就在于an>an style="font-size:18px">:an>an>
an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(1)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">从理论和实验两个方面an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">证实激光用于石英晶振频率微调的可行性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">并获取定量的刻蚀数据。an>an>
an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(2)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">从理论方面an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">研究激光刻蚀以及激光损伤的机理an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">从而尽可能的减小激光刻蚀对于石英晶振晶片可能存在的影响。an>an>
an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(3)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">通过反复实验an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">探索激光刻蚀工艺研究an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">寻找激光刻蚀参数、工艺与刻蚀结果之间的定性、定量关系an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">增强激光刻蚀的可操作性和可控制性。an>an>
an style="font-size:18px;font-family:新宋体">(4)an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">在以上研究的基础上an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">进行激光刻蚀系统的研究。包括采样系统、数据处理系统、控制系统等整个系统的设计。an>an>