关于石英晶振的激光刻蚀频率微调技术的研究已经到了尾声,也通过本次讨论知道,频率微调技术是生产频率控制元器件过程,非常重要的一项技艺。大部分晶振厂家就是利用激光刻蚀频率微调来提高产量,并且提升了质量,而且这里相关的知识点较多,接下来我们说说比较重要的几个点。
本课题的创新之处在于与生产中主流的“加”工艺相反,本课题所研究的是“减”工艺,即通过减薄或减少表面膜层的厚度和质量,来增大晶振的频率使其达到目标频率。
取代现行的蒸发频率微调、溅射频率微调和离子束频率微调,把成熟的激光加工工艺应用于有源晶振频率微调,提出激光频率微调技术,这在世界范围内仍处于研究阶段,国内尚无报导。目前无人将激光技术运用到石英谐振器频率微调上。而激光技术作为21世纪主流技术之一,它已经向世人展现了它相对其他传统工艺技术极大的优势。因此,采用激光进行石英晶体的频率微调势必会成为该项工业不可逆转的发展趋势。
用激光加工石英晶振表面的电极层而非石英晶体本身,这对于晶振的相用激光加工石英晶振表面的电极层而非石英晶振本身,这对于晶振的相描,激光刻蚀图形等多种方式对晶振片表面电极薄膜进行加工,这在国际尚属首创。
在对于激光损伤的研究中,提出了激光损伤阈值的概念,并通过实验测量了不同环境和条件下激光损伤阈值的大小,以及分析各个激光参数的阙值间的关系。
在对于贴片石英晶振激光频率微调工艺的研究中,提出了四变量方法,即大气环境、真空环境、激光减薄和激光刻蚀图形,相当于是影响激光频率微调结果的四个相互独立的自变量,而最终的微调量就是方程的因变量。实验的目的即在于通过调节四个自变量,从而达到最终需要的因变量结果。