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[压电石英晶体技术资料]晶振的离子束刻蚀以及溅射率2018年02月26日 09:36: 离子刻蚀的物理过程就是轰击靶材的离子与靶面相碰时,将足够的石英晶振动能传给靶原子,使得靶原子获得能量后,当其具有的动能能量超过靶原子的结合能,靶原子就可以摆脱原子间的结合能的束缚,从靶表面脱离,即溅射出来。实际上靶原子是在经过几次级联碰撞后才会逸出,; 阅读（428）标签：晶振|晶振离子束刻蚀以及溅射率

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